【潔凈等級】ISO5(100級Class100)/ISO4(10級Class10)【過濾器級別/過濾效率】HEPA/ULPA ≥99.995~99.999% @0.3μm【下降氣流平均流速】0.33±0.025m/s【流入氣流平均流速】0.53±0.025m/s【噪聲】≤65dB(A)【振動峰值】≤5μm【氣密度】300【重量】300Kg【照度】900Lx【接受非標(biāo)定制】
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